CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能,還可以提供兩種類型的膜厚測(cè)量。 近年來(lái)厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料;測(cè)量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。
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CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀,具有測(cè)量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型關(guān)聯(lián)算法,來(lái)查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸測(cè)量功能和先進(jìn)的厚薄膜測(cè)量技術(shù)。
CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能,還可以提供兩種類型的膜厚測(cè)量。 近年來(lái)厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料;測(cè)量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。 測(cè)量較薄的涂層被證實(shí)為難度更高。現(xiàn)在通過(guò)干涉測(cè)量法可以研究厚度至 50 納米(同樣取決于折射率)的薄膜涂層。 采用這種新型方法,可以在單次測(cè)量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。
在使用時(shí)有如下特性
。 2048 x 2048像素陣列,視場(chǎng)廣,高分辨率
。 全量程0.1埃的分辨率
。 適用于0.3% - 100%的表面反射率
。 RMS 重復(fù)精度<0.2埃,階躍高度重復(fù)精度<0.1%
。 多語(yǔ)言版本的64位控制和分析軟件
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先進(jìn)的白光干涉儀:
。 2.2 mm垂直范圍,帶閉環(huán)無(wú)壓電Z軸掃描儀 提高數(shù)據(jù)質(zhì)量:
。 <0.2?strom RMS重復(fù)性,<0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性 |
無(wú)限應(yīng)用的可能性
表面的三個(gè)元素對(duì)于組件的功能至關(guān)重要。 卓越的粗糙度能力與大面積測(cè)量,先進(jìn)的數(shù)據(jù)分析(2D和3D)以及泰勒·霍布森(Taylor Hobson)的專業(yè)知識(shí)相結(jié)合,可提供業(yè)界**的計(jì)量技術(shù)。 許多用戶依靠CCI MP-HS解決其他儀器完全無(wú)法處理的測(cè)量問(wèn)題。憑借出色的量程、*高的分辨率以及操作簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì),成為在眾多應(yīng)用場(chǎng)合中研發(fā)和質(zhì)量保證的理想工具。 |
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● 薄膜厚度 |
● 晶圓粗糙度 |
● 醫(yī)療植入物 |
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